IGS System
Dry Fine System
가스 공급 시스템의 소형・고기능화
최첨단・차세대 프로세스에 기여

약액용 밸브
Wet Fine System
특수 유체(가스・약액・진공)를 제어

공기압 기기
FA 제조 공정용 공압 Series
구동기기, 제어기기, 주변기기

유체제어 기기
폭넓은 영역에서 적용되고 있는 유체제어 기기

전동·구동·생력기기
'원 컨트롤러' 시스템 구현으로 초기 공수 감소
단축 및 다축 서보 모터 드라이브와 호환
다이렉트 드라이브 모터 기술 반영

VEC Valve Repair
진공 압력 비례제어 밸브 · 컨트롤러 유지 보수
밸브 & 컨트롤러 전 모델 Repair 대응

/ 6